一、前言 通過侵蝕材料的特性來進行雕刻的一種液體。 目前已經使用的蝕刻液類型主要有六種類型:酸性氯化 銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。其中氯化鐵蝕刻液的刻蝕速度主 要受刻蝕溫度、鹽酸含量和鐵離子含量的影響。其中蝕刻液中鹽酸添加量的影響:在蝕刻液中加入鹽酸， 可以抑製FeCl3 水解，並可提高蝕刻速率，尤其是當溶銅量達到 37.4g/L 後，鹽酸的作用更明顯。但是鹽 酸的添加量要適當，酸度太高，會導致液態光致抗蝕劑塗層的破壞。本次實驗采用JH-T6全自動電位滴定 儀按照其電位突躍點確定終點，測定其鹽酸的含量，驗證實驗方案的可行性。 二、儀器與試劑 2.1、儀器 JH-T6全自動電位滴定儀，複合 PH 電極，分析天平等 2.2、試劑 3mol/L KF 溶液，0.1mol/L *標準滴定液 三、實驗方法 3.1、實驗過程： 準確稱取 1g 待測試樣（精確至 0.0001g）,依次加入 50mL 去離子水，25mL 3mol/L 的 KF 溶液，混合 均勻，用標定好的*滴定液滴定至電位突越終點，同時做空白試驗，計算鹽酸含量。 3.2、儀器參數 儀器參數，如表 1 所示： 表 1 滴定儀參數設置 滴定類型： | 動態滴定 | 方法名： | 蝕刻液中鹽酸測定 | 滴定管體積： | 10mL | 樣品計量單位： | g | 工作電極： | 複合 PH 電極 | 參比電極： | 無 | 攪拌速度： | 7 | 預攪拌時間： | 5s |
| 
QQ：664521010
郵箱：jiahangchn@163.com
傳真：86-021-59904405
地址：上海市嘉定區阿克蘇南路925弄1號13樓
